检测质量对硅微机械框架振动陀螺影响的研究

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检测质量对硅微机械框架振动陀螺影响的研究

阮爱武¹, 郭秀中²

1. 西北工业大学自动控制系;2. 南京航空航天大学304教研室

收稿日期:1996-07-19 修回日期:1996-11-20 出版日期:1997-08-25 发布日期:1997-08-25

STUDY ON THE IMPACT OF PROOF MASS ON SILICON MICROMECHANICAL GIMBAL VIBRATING GYROSCOPE

Ruan Aiwu¹, Guo Xiuzhong²

1. Automatic Control Department, Northwestern Polytechnical University, Xi′an, 7100722. Faculty 304, Nanjing University of Aeronautics & Astronautics , Nanjing, 210016

Received:1996-07-19 Revised:1996-11-20 Online:1997-08-25 Published:1997-08-25

摘要/Abstract

摘要：

根据陀螺的动力学方程，从陀螺设计中的重要参数——内、外框架组件的等惯量约束条件和振动灵敏度等角度，探讨了检测质量对陀螺性能的影响，为微机械框架振动陀螺的设计提供了理论依据。

关键词: 微机械框架振动陀螺, 检测质量, 灵敏度, 等惯量约束条件

Abstract:

The impact proof mass on the gyros performance is discussed on the basis of microgyro dynamic equation and several important parameters in the design of micromechanical vibrating gyros, including equivalent moment of inertia constraint conditions in the inner and outer gimbals, sensitivity, etc . This study will lay foundation for the gyros design in the near future.

Key words: micromechanical gimbal vibrating gyroscope, proof mass, sensitivity, equivalent moment of inertia constraint conditions

中图分类号:

V241.6

阮爱武;郭秀中. 检测质量对硅微机械框架振动陀螺影响的研究[J]. 航空学报, 1997, 18(4): 489-492.

Ruan Aiwu;Guo Xiuzhong. STUDY ON THE IMPACT OF PROOF MASS ON SILICON MICROMECHANICAL GIMBAL VIBRATING GYROSCOPE[J]. ACTA AERONAUTICAET ASTRONAUTICA SINICA, 1997, 18(4): 489-492.

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