空间X射线反射式聚焦系统的同步辐射表征技术 航空学报    2023, 44 (3): 527386-527386.   DOI: 10.7527/S1000-6893.2022.27386

图7 夏克-哈特曼波前传感器的原理示意图^［25］

正文中引用本图/表的段落

夏克-哈特曼波前传感器法，从原理上非常接近于细光束法，其先后使用完美入射波前和经过待测元件后的变形波前分别通过二维微米尺度的小孔阵列，阵列将入射光束划分为小光束阵列，并使用探测器记录位置。对比有无像差下波前测量的每个小光束位置偏离?来获得反射光束的局部波前斜率［25］，测试原理如图7所示。通过调整小孔孔径、数量和探测面至传感器的距离，可以有效提升哈特曼波前检测技术的测量灵敏度和精度。

本文的其它图/表

• 图1 Wolter型X射线系统原理示意图^［1］
  
• 图2 龙虾眼型望远镜的原理示意图和首飞样机
  
• 图3 嵌套式的Wolter-I型X射线望远镜示意图
  
• 图4 反射镜测试中高度、斜率和曲率的示意图
  
• 图5 水平方向和竖直方向下细束扫描光束在超环面镜聚焦处的偏转特性
  
• 图6 超环面形镜在子午和弧矢的斜率误差
  
• 图8 光栅干涉仪实验装置示意图 ^［40］
  
• 图9 二维相位光栅和分析光栅以及产生的莫尔条纹 ^［37］
  
• 图10 基于吸收光栅测量反射镜的面形斜率误差的光学设置和几何传播示意图^［47］
  
• 图11 散斑追迹技术的2种测量模式
  
• 图12 传播过程中2张散斑图的特定子集发生的位移 ^［53］
  
• 图13 上海光源微聚焦线站直通光的水平和竖直波前斜率误差
  
• 图14 X射线散斑扫描测量后各散斑图对应像素行拼接成新的散斑图
  
• 图15 2种一维散斑扫描测量示意图 ^［65］
  
• 图16 利用差分散斑扫描技术绝对测量的面形斜率误差与其他测量技术的比较 ^［70］
  
• 表1 不同在线检测技术的比较
  
• 图17 X射线望远镜装置以及在线调节^［74］
  
• 图18 X射线望远镜的调节和探测平台^［75］
  
• 图19 全场成像中丢失二次反射的情况和利用细光束入射并倾斜修正光源 ^［76］
  
• 表2 目前国际上可用于空间望远镜校准检测的光束线
  
• 图20 4块金反射镜的掠入射反射率测试曲线^［11］
  
• 图21 反射镜的模拟和测试的掠入射反射率曲线^［84］