摘要:
以一种通过体微机械加工技术制备的音叉振动式微机械陀螺为对象,首次基于随机摄动技术定量研究了微陀螺固有频率变异的统计特征,以概率思想表达了微陀螺批量加工过程所带来的材料/尺寸随机误差对其各阶固有频率的影响。通过所提出的影响因子这一概念反映了微陀螺参数变异对固频变异的敏感度。在详尽分析微陀螺众多参数的影响因子的基础上,获得了微陀螺最为关键的六个参数。这有限关键参数的获得,不仅为微陀螺的健壮性设计提供了方向,同时也为实际微陀螺的加工控制提供了量化的可参考依据。
中图分类号:
姜涛;王安麟;张颖;焦继伟. 音叉振动式微机械陀螺固有频率的统计特性分析[J]. 航空学报, 2007, 28(1): 245-248.
JIANG Tao;WANG An-lin;ZHANG Ying;JIAO Ji-wei. Statistical Analysis on the Natural Frequencies of Tuning Fork Vibratory Micromachined Gyroscope[J]. ACTA AERONAUTICAET ASTRONAUTICA SINICA, 2007, 28(1): 245-248.