工艺条件的改变对用大气开放式MOCVD方法制备TiO<sub>2</sub>薄膜的影响

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工艺条件的改变对用大气开放式MOCVD方法制备TiO₂薄膜的影响

李丽娜;谷景华;张跃

Effects of Different Conditions on the Growth of TiO₂Thin Films Prepared by AP-MOCVD

LI Li-na;GU Jing-hua;ZHANG Yue

航空学报 . 2007, (增): 174 -177 .

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