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单晶硅电火花线切割表面损伤层形成机理
刘志东, 高连, 邱明波, 田宗军, 汪炜
Damage Mechanism of Monocrystalline Silicon Cut by WEDM
LIU Zhidong, GAO Lian, QIU Mingbo, TIAN Zongjun, WANG Wei
航空学报 . 2012, (1): 156 -162 .  DOI: CNKI:11-1929/V.20110726.1650.005

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