航空学报 > 1990, Vol. 11 Issue (4): 215-216

用红外光散射技术测量精加工表面粗糙度参数Ra

曹麟祥, 李德芬   

  1. 西北工业大学
  • 收稿日期:1989-02-21 修回日期:1900-01-01 出版日期:1990-04-25 发布日期:1990-04-25

MEASUREMENT OF FINE-MACHINED SURFACE ROUGHNESS PARAMETER XT USING INFRARED SCATTERING TECHNIQUE

Cao Linxiang, Li Defen   

  1. Northwestetn Polytechnical University
  • Received:1989-02-21 Revised:1900-01-01 Online:1990-04-25 Published:1990-04-25

摘要: <正> 本文用红外光散射技术,研究了国际上广泛使用的表面粗糙度参数算术平均偏差Ra与散射光强及其角分布统计参数间的相关性。研究表明:粗糙度的高度只影响光在空间的散布范围(高度小,光的散布范围大),不影响相邻散斑间的距离;粗糙度的间距不同时除影响光的散布范围外,还影响相邻散斑间的距离(间距小,散斑间的距离大)。对于很光滑的表面,大部分入射光反射至镜方向。当表面粗糙度增加时,镜方向光强减少;同时光的衍射增加,并且变得更散射了。在0°~180°范围内收集散射光时,光强角分布的方差D与Ra成正比关系;在小于180°的范围内收集散射光时,D与及Ra成抛物线关系。对收集散射光的光纤(与硅光电二极管相连接)间的相邻夹角值本文经实验得到验证即角分辨率