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硅谐振压力微传感器开环测试中的信号处理技术
周浩敏;邢维巍;刘广玉
SIGNAL PROCESSING TECHNIQUE OF THE OPEN LOOP TESTING OF SILICON RESONANT PRESSURE MICRO SENSOR
ZHOU Hao min;XING Wei wei;LIU Guang yu
航空学报 . 1999, (4): 87 -89 . 

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