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考虑伴生转动的大行程柔性微定位平台
曹毅, 孟刚, 居勇健, 徐伟胜
Large-stroke compliant micro-positioning stage considering parasitic rotation
CAO Yi, MENG Gang, JU Yongjian, XU Weisheng
航空学报 . 2022, (7): 425498 -425498 .  DOI: 10.7527/S1000-6893.2021.25498

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